TOPCon&BC高效电池核心干法工艺装备—LPCVD&ALD

王晓飞

北京北方华创真空技术有限公司

E-mail: wangxiaofei@naura.com

报告摘要

TOPCon&BC 高效电池的竞争核心聚焦转换效率、良率与量产成本，LPCVD、ALD 是电池技改提效关键膜层制备的核心载体。本文结合一线量产痛点，介绍北方华创两款装备在 TOPCon、BC 电池路线中的工艺方案与产业价值。

北方华创 LPCVD 搭载全温场分层控温炉体与深度优化温控算法，温度场控制能力大幅增强，拓宽隧穿氧化层、多晶硅层工艺窗口，工艺均匀性提升 2% 以上；配套多路独立流量计进气方案，在保障工艺适配性的同时显著降低气体消耗；腔室核心耗材升级为 SiC 材质，耐高温、抗腐蚀、工艺兼容性优异，耗材寿命成倍提升，达成工艺稳定性与产线经济性双重突破。

北方华创 ALD 设备通过金属双腔平台和三叠舟载片结构、一级加二级双层匀流系统、六面主加热及辅助加热模块支撑原子级精准沉积，实现运营成本低、维护便捷周期长、更优均匀气场，兼容多种工艺，为n型电池产线效率、良率、成本协同优化提供国产化装备支撑。