PE-TBC、晶硅/钙钛矿叠层电池设备技术进展与突破

廖宝臣^1,2*，王亨¹，赵龙¹，胡彬¹，黎微明¹ 

¹江苏微导纳米科技股份有限公司

²南通大学信息科学技术学院

E-mail: baochen.liao@leadmicro.com

报告摘要

近年来光伏电池技术迅猛发展，2024年晶硅电池已完成从PERC到TOPCon的技术迭代，进一步迈向XBC、钙钛矿和叠层技术的多元化发展。因此，针对下一代电池技术产业化的设备研发需求迫在眉睫。本报告将分享PECVD 原位硼掺 PE-ToxPoly(p) 及其PE-TBC新技术路线整线集成应用的产业化最新进展与突破。以及ALD、PECVD、LPCVD、PVD、Laser、EPD等工艺设备在下一代TBC、钙钛矿以及叠层电池技术产业化中的最新进展与突破，助力下一代高效电池技术的产业化。