PECVD 原位硼掺 (PE p-Poly) 以及TBC、钙钛矿整线设备技术最新进展与突破

廖宝臣^1,2，王亨¹，赵龙¹，胡彬¹，黎微明¹ 

¹江苏微导纳米科技股份有限公司

²南通大学信息科学技术学院

E-mail: baochen.liao@leadmicro.com

报告摘要

近年来光伏电池技术迅猛发展，2024年晶硅电池已完成从PERC到TOPCon的技术迭代，进一步迈向XBC、钙钛矿和叠层技术的多元化发展。因此，针对下一代电池技术产业化的设备研发需求迫在眉睫。针对TBC电池产业化核心之一的磷掺poly和硼掺poly，目前市场主要采用传统的LPCVD沉积技术。其沉积速率慢，石英管易碎的瓶颈制约着TBC电池技术进一步产业化发展。本报告将分享PECVD 原位硼掺 PE-ToxPoly(p) 的产业化最新进展与突破，有望为TBC电池产业化开创一条新技术路线。

此外，本报告也将回顾设备技术与晶硅电池技术协同发展历程，展望分享ALD、PECVD、LPCVD、PVD、激光、边缘钝化等工艺设备在下一代TBC、钙钛矿以及叠层电池技术产业化中的最新进展。