n型TOPCon电池划片和边缘钝化匹配验证与探讨

钱旭豪，沈志敏，孙祥，王颖超

江苏润阳新能源科技股份有限公司

E-mail: jim@runergy.cn

报告摘要

无损划片技术的低损伤特性为 n 型 TOPCon 电池边缘复合损失的抑制提供了基础，但划片工艺参数的细微差异会直接改变边缘损伤形态，划片过程产生的激光热烧蚀、机械损伤及晶格缺陷会导致0.1%-0.2%的效率损失，进而影响后续钝化处理的适配性。本研究以热激光分离（TLS）为核心无损划片技术，系统探究不同激光设备，划片开槽激光功率、脉冲激光频率、开裂激光频率，水压等关键参数与旋转空间原子层沉积（RS-ALD）Al₂O₃钝化工艺的匹配机制。通过 PL 成像、3D及电学性能测试等多维度验证，建立 “划片参数 - 边缘损伤特征 - 钝化工艺 - 电池性能”确定最优匹配参数组合

关键词：激光热烧蚀；机械损伤；ALD；Al₂O₃