n型光伏硅晶体中的载流子复合中心表征及讨论

原  帅

浙江大学材料科学与工程学院,硅及先进半导体材料全国重点实验室

上虞半导体材料研究中心,浙江高性能硅材料装备全省重点实验室

E-mail: shuaiyuan@zju.edu.cn

报告摘要

TOPCon电池是目前占比最高的量产电池类型，其高温扩散过程对硅片质量提出了更高要求。目前n型硅片发展的趋势是电阻率的均匀化、低氧与低金属含量，在质量大幅优于p型片的前提下TOPCon电池端仍较容易产生以同心圆缺陷为主的降档问题。生产实践中存在同心圆缺陷预测指标不可靠、实验现象难以简单复现等研发难题。本报告介绍了现有大尺寸高拉速光伏晶体硅生产体系中，电池端复合活性缺陷的行为，讨论有关缺陷的表征方法与产生机制。