UVID、半片技术以及高效叠层电池技术与智能装备进展

廖宝臣^1,2，马胜^1,3，胡彬¹，李翔¹，黎微明¹

¹江苏微导纳米科技股份有限公司

²南通大学信息科学技术学院

³上海交通大学材料科学与工程学院

E-mail: baochen.liao@leadmicro.com

报告摘要

近年来，高效电池技术发展迅猛，新一代钝化接触电池技术TOPCon有望今年实现取代PERC电池，成为行业的主流量产技术。但随着电池效率的不断提高，其稳定性也受到越来越多的关注，比如紫外光衰 (UVID, UV-induced degradation) 问题。本报告将探讨UVID的潜在机理以及解决方案。

提效降本一直是光伏产业发展的核心驱动力。微导纳米通过不断持续的工艺与设备技术创新，为高效电池技术的发展持续注入动力。本报告也将分享微导自主研发的PE-TOPCon (Plasma Enabled Tunnel Oxide Polysilicon Contact) 新技术路线以及设备进展，TOPCon与XBC的半片技术以及设备进展，ALD和PVD设备在钙钛矿电池上的应用以及进展。