硅烷流化床法颗粒硅最新研究进展

周声浪

协鑫科技控股有限公司

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报告摘要

硅烷流化床法多晶硅工艺相较于改良西门子法，具有反应温度低、碳足迹低、生产成本低等特点。本文介绍了硅烷流化床法颗粒硅近两年来品质提升情况，其5种金属小于0.5ppbw比例已达到95%以上；针对颗粒硅氢含量高、浊度高而导致的拉晶断线率高问题，本文分享了最新采用的两种实验方案：一是颗粒硅在线脱氢方案，其虽然会浪费约20分钟的化料时间，但氢跳能得到明显改善，拉晶断线率降低至30%以下；二是提升颗粒硅粒径，粒径提升后，其投炉拉晶断线率得到了进一步降低。随着颗粒硅品质的提升及应用端的改善，其产能迅猛增长，今年颗粒硅产能已达到42万吨。