北方华创科技赋能PE-Poly助力光伏电池提质增效

田小让

北京北方华创微电子装备有限公司

E-mail: tianxiaorang@naura.com

报告摘要

   PE-Poly实现了隧穿层、Poly层、原位掺杂层的“三合一”，具有宽阔的提效降本空间。北方华创紧贴TOPCon及XBC电池的产业需求，开展PE-Poly装备及配套工艺开发。在炉体结构、功能配置方面进行了独特设计，并通过双隧穿、膜层结构、带隙调整、热制程优化等创新性的工艺开发，实现了高产能、低能耗和高质量膜层制备，可满足高效TOPCon和BC系列电池的产业需求。客户端电池验证结果表明，华创PE-Poly所制备的TOPCon电池性能优于其基线产品。北方华创PE Poly装备技术的持续开发，助力光伏产业的技术迭代和产业升级。