TOPCon&BC核心干法工艺装备LPCVD之实践

王晓飞

北京北方华创微电子装备有限公司

E-mail: wangxiaofei@naura.com

报告摘要

先进光伏技术应用和产业升级，效率优势及量产化成本一直是核心，结合当前各类技术应用进展，分析LPCVD设备在TOPCon以及BC电池结构中应用，对于产业应用过程中关键需求给出解决方案。

北方华创LPCVD设备通过高精度温度场控制系统，多路精准进气匀流系统，超高真空度腔室系统支撑TOPCon以及BC应用中关键工艺膜层高质量制备，实现高效稳定电性能表现。对于LPCVD设备应用中耗材费用较高、维护难问题，通过独特结构设计、关键物料材质替代等手段大幅提升耗材寿命，延长维护周期。强大硬件系统兼容多种工艺手段，使北方华创LPCVD设备成为整线效率良率提升调节窗口的关键有效一环。